 |
 |
 |
 |
 |
稼働率
2．3．2 稼働率
各装置が稼働状態にある割合を示す。定期的なメンテナンスや予測で
きない故障により、装置自身が物理的に動かない時間のみならず流動が
スムーズに行われずに待ちの状態になっていることも稼働率を低下
させる。
この稼働率はスループットと並んで生産性を決定し、ひいては
生産コストに影響する。TFT基板加工用装置は大型で、また実績も少な
いため全般的に稼働率が良いとは言えない。したがってまずメンテナン
ス頻度を下げ、かつ故障が少ない装置の開発が必要であるが、同時に基
板流動をいかに円滑に行うかがカギである。
