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生産性
2．3 生産性
一般的に生産性は単位時間や労働力に対する生産アウトプットを示
す。しかし大型のガラス基板上にTfT素子を形成し、さらに液晶パネル
に仕上げる工程の現段階における生産性は低い。まず歩留まりが十分高
くないことが挙げられる。30cm以上のガラス基板に何百万もの素子を
無欠陥で形成し、微少なゴミをも排除して完全な表示パネルに仕上げる
ことは至難の技である。
生産性を低下させている他の要因は低い装置能力にある。装置が単位
時間当たり処理できる基板数は、その装置が稼働状態にあるときの処理
能力（スループット）と稼働状態にある割合（稼働率）によって決定さ
れる。例えばTFT形成では、現段階ではスループットが不十分な装置が
多く、中にはプラズマCVDのようにメンテナンスに時間を多く取られ稼
働率が目立って低いことも人きな問題である。
