 |
 |
 |
 |
 |
ガラス基板
ガラス基板
アモーファスSi用のTFT基板には無アルカリ・ガラスが用いられる。
アルカリ・イオンによるTFTへの汚染を防ぐためである。
ほう硅酸ガラスであるコーニング社製「7059」ガラスが標準的に用いられる。
これは
引出し法により初めから板状で形成するためコスト的に有利である。実際
にはこれを研磨した後にSi酸化膜などによる保護膜を付けてからTFTを
形成する。最近では多結晶siTFTにも用いられるアルミナ系ガラスをベ
ースに日本でも開発が進んでおり、実用化が始まった。
