LCD用語集

しきい値とはトランジスタのゲートへ徐々に電仔を印加していったとき、電流の流
れないオフ状態から、電流の流れるオン状態へ変わる境界のゲート電圧値を言う。

アモーファスSiTFTでは動作させていると時間とともにしきい値が変化してくるという不安定性に悩まされた。
ゲート絶縁膜中あるいは膜の界面に電何が注入されることが主な原因である。
現在はアモーファスSiとの界面にSi窒化膜を真空中で連続に成長することによりかなり改善された。

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